Horiba質(zhì)量流量計(jì) D500

簡(jiǎn)要描述：Horiba質(zhì)量流量計(jì) D500
壓力非敏感性
自帶顯示功能
控制范圍廣
可應(yīng)對(duì)多種氣體、多種量程、
不同壓力條件
高精度
高速響應(yīng)
適用于高精工藝需求

產(chǎn)品詳情

　　Horiba質(zhì)量流量計(jì) D500

　　· 壓力不敏感性能

　　高性能壓力補(bǔ)償新功能簡(jiǎn)化了供氣系統(tǒng)

　　· 多量程、多氣體、多壓力解決方案

　　新功能允許用戶改變氣體類型、滿量程流量和供壓范圍

　　· G-LIFE(集成限流器方程的氣體定律校驗(yàn))自診斷功能

　　*的工藝健康監(jiān)控功能允許操作人員自行進(jìn)行測(cè)試，即使提高通過(guò)量，通常也能在三秒或更短的時(shí)間內(nèi)完成測(cè)試。

　　· 高精度

　　*的三維調(diào)整功能提高了工藝氣的流量精度

　　· 快速響應(yīng)

　　響應(yīng)時(shí)間：< 0.8 秒

　　可實(shí)現(xiàn)精確、穩(wěn)定的流量控制

　　· 動(dòng)態(tài)范圍

　　控制范圍廣：0.2% 滿量程至 100% 滿量程

　　Horiba質(zhì)量流量計(jì) D500

　　質(zhì)量流量控制器：質(zhì)量流量控制器是一種可直接測(cè)量氣體的質(zhì) 量流量并進(jìn)行流量控制的設(shè)備。

　　不因環(huán)境溫度和使用壓力等條件的變化而改變，可實(shí)現(xiàn) 高精度且穩(wěn)定的流量控制，應(yīng)用于各種工業(yè) 領(lǐng)域。

　　HORIBA 集團(tuán)向遍布全球各地的用戶大量提供具有*水平的分析儀器系統(tǒng)及系列產(chǎn)品。

　　應(yīng)用范圍從汽車發(fā)動(dòng)機(jī)尾氣排放檢測(cè)的研發(fā)到過(guò)程及環(huán)境監(jiān)測(cè)，體外醫(yī)療檢測(cè)，半導(dǎo)體制造和計(jì)量，涉及范圍從科技研發(fā)到質(zhì) 量控制測(cè)量。

　　實(shí)踐證明，質(zhì)量和值得信賴的性能贏得廣大用戶對(duì) HORIBA 集團(tuán)品牌的信任。半導(dǎo)體事業(yè)部以尖銳的目光關(guān)注著半導(dǎo)體、FPD、LED、太陽(yáng)能、光纖等細(xì)微世界的發(fā)展。

　　由研發(fā)專家展開(kāi)研究與開(kāi)發(fā)以支持半導(dǎo)體制程工藝中對(duì)不同流體控制技術(shù)的需求。

　　為滿足不同市場(chǎng)、不同工藝需求，半導(dǎo)體事業(yè)部亦能提供切合客戶需求的不同產(chǎn)品以實(shí)現(xiàn)匹配工藝需求。

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