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horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z734

  • 產(chǎn)品型號:UR-Z734M-B
  • 更新日期:2024-11-14

簡要描述:UR-Z734M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z734中的暢銷款,控制該壓力控制器前端的壓力。
控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar,
Devicenet數(shù)字通訊
消除后端壓力波動對前端腔體壓力的影響(入口控制型)

產(chǎn)品詳情


UR-Z734M-B horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z734

控制壓力范圍10-500KPa,DeviceNet數(shù)字通訊

暢銷型號:UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。

UR-Z734M-BUR-Z700中的一款,控制該壓力控制器前端的壓力。

UR-Z700系列是高性能自動壓力控制閥配備電子調(diào)節(jié)閥,帶有高精度壓力傳感器和高分辨率、快速響應的壓電閥。根據(jù)接收到的外部控制信號控制壓力。

UR-Z712M、UR-Z722M、UR-Z732M、UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、支持模擬輸出和RS485通訊

UR-Z714M、UR-Z724M、UR-Z734M、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B 支持DeviceNet™ 通訊模式。

horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z724

horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z724

產(chǎn)品性能:

· 分兩種應用:入口控制型(-M-B 型)和出口控制型

· 消除大流量氣路切換引起的串擾影響(出口控制型)

· 快速響應:0.5 秒內(nèi)

· 靈活的設計:可以安裝在任何位置,適用于各種氣體供應系統(tǒng)

· 進氣壓力多種選擇:表壓、絕對壓力

· 符合 RoHS 標準(UR-Z704 系列)

· 超潔凈:全金屬結(jié)構(gòu)

horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z712


參數(shù)表

horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z734

產(chǎn)品背面圖


horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z734


產(chǎn)品安裝孔圖


周邊產(chǎn)品



horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z734

Horiba品牌介紹

HORIBA是全球著名的半導體設備供應商,主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導體設備PECVD、MOCVD、Etch等關鍵工藝有非常廣泛的應用。


暢銷型號

數(shù)字型質(zhì)量流量控制器: SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGMSEC-Z532MG、SEC-Z542MG、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGMSEC-Z534MG、SEC-Z544MG、SEC-Z712MGXSEC-Z722MGMSEC-Z732MG、SEC-Z714MGXSEC-Z724MGM、SEC-Z734MG

低成本數(shù)字型質(zhì)量流量控制器SEC-N112MGM、SEC-N122MGMSEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N114MGMSEC-N124MGM、SEC-N134MGM、SEC-N116MGM、SEC-N126MGM、SEC-N117MGM、SEC-N127MGM

模擬型質(zhì)量流量控制器SEC-E40MK3、SEC-E50MK3SEC-E40V、SEC-E50VSEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531SEC-E541。

液體質(zhì)量流量控制器:LV-F20PO、LV-F30POLV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 POLV-F60PO、

液體質(zhì)量流量計LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M






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