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horiba IGS氣體質(zhì)量流量計(jì)Z517/Z527MGX IGS接口，EtherCat通訊 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z552/Z562MGX 小量程0-100SLM，大量程0-500SLM 高精度：2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542$n$n小量程0-20sccm，大量程0-200SLM$n高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z524/Z534/SEC-Z514$n$n小量程0-2sccm，大量程0-50SLM$n高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.); 0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n數(shù)字通訊：DeviceNet

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z512$n$n小量程0-2sccm，大量程0-50SLM$n高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

SEC-N112系列特點(diǎn)：1、直接測量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量2、工作穩(wěn)定可靠3、適應(yīng)的流體介質(zhì)面寬4、廣泛的應(yīng)用環(huán)境5、多種實(shí)時(shí)在線測控功能6、可擴(kuò)展性好

Horiba質(zhì)量流量計(jì) SEC-8000 高精度 ±1.0% 設(shè)定點(diǎn) 高速響應(yīng) 超潔凈設(shè)計(jì) 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

Horiba質(zhì)量流量計(jì) SEC-Z500X 高精度 ±1.0% 設(shè)定點(diǎn) 該質(zhì)量流量控制器的線性度由多項(xiàng)式近似曲線補(bǔ)償，并實(shí)現(xiàn)在所有流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實(shí)際氣體精度，不同工藝氣體的標(biāo)定數(shù)據(jù)由 HORIBA STEC 公司的標(biāo)準(zhǔn)氣體測量系統(tǒng)測量。 高速響應(yīng) 裝配“可變 PID 系統(tǒng)”，可在任意兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)之間實(shí)現(xiàn) 1 秒響應(yīng)?？勺?PID 根據(jù)流量點(diǎn)設(shè)置不斷變化。在滿量程

horiba流量計(jì)SEC-Z700S可以直接測量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量，測量精度為0.2級，流體測量管內(nèi)部無障礙物和活動(dòng)部件，因而可靠性高、壽命長。

Horiba SEC-Z700質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z714MGX-CS屬于高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，是半導(dǎo)體中設(shè)備CVD機(jī)臺(tái)、Etch機(jī)臺(tái)中的氣體控制核心部件